一、應(yīng)用領(lǐng)域
設(shè)計(jì)用于中溫 CVD 工藝。如 ZnO 納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、氮化硅渡膜、陶瓷基片導(dǎo)
電率測(cè)試、陶瓷電容器(MLCC)氣氛燒結(jié)等等。
二、技術(shù)指標(biāo)
設(shè)備型號(hào): KCVD(D)-250/750/3
*溫度: 1050℃
工作溫度: RT~1000℃
加熱區(qū)長(zhǎng)度: 750mm
爐管實(shí)際尺寸: Φ250(外徑)×1750mm (高純氣煉石英管)
爐膛材料: 氧化鋁、高鋁和硅酸鋁纖維制品
控制溫區(qū)個(gè)數(shù): 3 個(gè),K 分度熱偶
控溫精度: ±1℃,單回路智能 64 段程序儀表控制,PID 參數(shù)自整定
整個(gè)升溫過程中溫度過沖不超過±5 度
加熱元件: FEC 陶瓷纖維加熱器,瑞典進(jìn)口 Kanthal 發(fā)熱絲
*加熱功率: 18Kw
空爐保溫功率: 約 7Kw
升溫速率:≤75min(900℃)
氣氛系統(tǒng):3 爐氣體(氮?dú)?、氧氣、氬氣)浮子流量?jì)控制
輸入動(dòng)力電源: 三相電源,50HZ ,380V±10%
爐體表面溫升: ≤35℃。
外形尺寸:約 1750*1200*830(L*H*W)
三、結(jié)構(gòu)介紹
KCVD(Z)-250/750/3 中溫氣氛管式爐爐管總長(zhǎng)約 1.75 米,加熱區(qū)長(zhǎng)度為
750mm。加熱元件采用進(jìn)口電阻絲微露陶瓷纖維板(FEC)加熱,*加熱功率 18kw。 兩端保溫區(qū)長(zhǎng)各 170mm。爐管一端可同時(shí)通入 3 路氣體進(jìn)入混合罐通入爐膛,氣體流量用浮子或質(zhì)量流量計(jì)控制,另一端接排氣閥。